Thermoelectrical characterization and comparative analysis of three finite element models of a MEMS thermal sensor

This document presents the finite element modeling using ANSYS to obtain the thermal resistance of a MEMS thermal sensor. Additionally, the document describes a thermoelectrical characterization to find the sensor performance parameters. For modeling purposes, we divided the thermal sensor into four...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Gomez, Maribel
مؤلفون آخرون: Ramírez, Treviño, Figueras, Edward, Sauceda, Angel
التنسيق: Artículo
اللغة:en_US
منشور في: 2018
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:http://smctsm.org.mx/ojs/index.php/SyV/article/view/65/176
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!

مواد مشابهة