Growth chemistry and electrical performance of ultrathin alumina formed by area selective vapor phase infiltration

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अन्य लेखक: Snelgrove, Matthew, Mani Gonzalez, Pierre Giovanni, McFeely, Caitlin, Hughes, Gregory, Weiland, C, Woicik, Joshep, Shiel, Kyle, Ornelas, Carlos, Solis-Canto, Óscar, Cherkaoui, K, Hurley, P, Yadav, Pravind, Morris, Michael, McGlynn, Enda, O'Connor, Rob
स्वरूप: Artículo
भाषा:English
प्रकाशित: 2022
विषय:
ऑनलाइन पहुंच:https://doi.org/10.1016/j.mee.2022.111888
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0167931722001824
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