Titanium infiltration into ultrathin PMMA brushes
Vapor phase infiltration (VPI) is a bottom-up process that involves the infiltration of polymers, often using atomic layer deposition compatible precursors. By exposing a polymer to an organo-metallic precursor, area selective material formation is achieved where the precursor reacts with regions co...
Đã lưu trong:
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Tác giả khác: | , , , , |
| Định dạng: | Artículo |
| Ngôn ngữ: | en_US |
| Được phát hành: |
2021
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://doi.org/10.1116/6.0001061 https://avs.scitation.org/doi/abs/10.1116/6.0001061 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|
