Titanium infiltration into ultrathin PMMA brushes
Vapor phase infiltration (VPI) is a bottom-up process that involves the infiltration of polymers, often using atomic layer deposition compatible precursors. By exposing a polymer to an organo-metallic precursor, area selective material formation is achieved where the precursor reacts with regions co...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | , , , , |
| Формат: | Artículo |
| Язык: | en_US |
| Опубликовано: |
2021
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | https://doi.org/10.1116/6.0001061 https://avs.scitation.org/doi/abs/10.1116/6.0001061 |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
