Titanium infiltration into ultrathin PMMA brushes
Vapor phase infiltration (VPI) is a bottom-up process that involves the infiltration of polymers, often using atomic layer deposition compatible precursors. By exposing a polymer to an organo-metallic precursor, area selective material formation is achieved where the precursor reacts with regions co...
Zapisane w:
| 1. autor: | |
|---|---|
| Kolejni autorzy: | , , , , |
| Format: | Artículo |
| Język: | en_US |
| Wydane: |
2021
|
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | https://doi.org/10.1116/6.0001061 https://avs.scitation.org/doi/abs/10.1116/6.0001061 |
| Etykiety: |
Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|
