Titanium infiltration into ultrathin PMMA brushes
Vapor phase infiltration (VPI) is a bottom-up process that involves the infiltration of polymers, often using atomic layer deposition compatible precursors. By exposing a polymer to an organo-metallic precursor, area selective material formation is achieved where the precursor reacts with regions co...
שמור ב:
| מחבר ראשי: | |
|---|---|
| מחברים אחרים: | , , , , |
| פורמט: | Artículo |
| שפה: | en_US |
| יצא לאור: |
2021
|
| נושאים: | |
| גישה מקוונת: | https://doi.org/10.1116/6.0001061 https://avs.scitation.org/doi/abs/10.1116/6.0001061 |
| תגים: |
הוספת תג
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!
|
