Titanium infiltration into ultrathin PMMA brushes
Vapor phase infiltration (VPI) is a bottom-up process that involves the infiltration of polymers, often using atomic layer deposition compatible precursors. By exposing a polymer to an organo-metallic precursor, area selective material formation is achieved where the precursor reacts with regions co...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | , , , , |
| Médium: | Artículo |
| Jazyk: | en_US |
| Vydáno: |
2021
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | https://doi.org/10.1116/6.0001061 https://avs.scitation.org/doi/abs/10.1116/6.0001061 |
| Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!
|
