Titanium infiltration into ultrathin PMMA brushes
Vapor phase infiltration (VPI) is a bottom-up process that involves the infiltration of polymers, often using atomic layer deposition compatible precursors. By exposing a polymer to an organo-metallic precursor, area selective material formation is achieved where the precursor reacts with regions co...
Sparad:
Huvudupphovsman: | |
---|---|
Övriga upphovsmän: | , , , , |
Materialtyp: | Artículo |
Språk: | en_US |
Publicerad: |
2021
|
Ämnen: | |
Länkar: | https://doi.org/10.1116/6.0001061 https://avs.scitation.org/doi/abs/10.1116/6.0001061 |
Taggar: |
Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!
|
Lägg till första kommentaren!