Aluminium oxide formation via atomic layer deposition using a polymer brush mediated selective infiltration approach
Area selective deposition (ASD) is an emerging method for the patterning of electronic devices as it can significantly reduce processing steps in the industry. A potential ASD methodology uses infiltration of metal precursors into patterned polymer materials. The work presented within demonstrates t...
Đã lưu trong:
| Tác giả khác: | , , , , , , , , , , , |
|---|---|
| Định dạng: | Artículo |
| Ngôn ngữ: | English |
| Được phát hành: |
2020
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2020.145987 https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0169433220307431 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|
