Effect of ion bombardment on the chemical properties of crystalline tantalum pentoxide films
The effect of argon ion bombardment on the chemical properties of crystalline Ta2O5 films grown on Si(100) substrates by radio frequency magnetron sputtering was investigated by X-ray photoelectron spectroscopy. All samples were irradiated for several time intervals [(0.5, 3, 6, 9) min] and the Ta...
שמור ב:
| מחבר ראשי: | |
|---|---|
| מחברים אחרים: | , , , , |
| פורמט: | Artículo |
| שפה: | English |
| יצא לאור: |
2019
|
| נושאים: | |
| גישה מקוונת: | https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2019.04.037 https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2019.04.037 |
| תגים: |
הוספת תג
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!
|
היה/י הראשונ/ה לכתוב הערה!